DOP测量hepa过滤器用气溶胶有什么危害

DOP用于HEPA过滤器效率测量，已有近40年历史，近几年来疑心其所含环苯是致癌物质，现改用DOS DEHS(常用于单分散的)。这些物质对IC及盘片驱动器消费早已以为对产品无害，因而现常用聚苯乙烯乳胶球(SPLs)，粒径在0.1~1μm的单分散系，可方便停止控制。但有研讨以为用DOP测试过过滤器释放出的DOP量与大气中含有的DOP量相差不分明。

DOP等用紧缩空气把溶液中的液体经过Laskin喷管雾化成多分散系DOP等，粒径在0.1~lμm，t>0.35μm的占90%以上。单分散系DOP，现常用DEHS，加热至一定温度其溶液蒸发然后冷却之，控制冷却温度以控制粒径。采用多分散的DOP测得的过滤器效率要比用单分散的为高，其间现尚无转换关系可循。