半导体芯片厂对于空气过滤器的要求非常严格

当今，半导体芯片厂对消费环境空气无尘度最挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉尘能够形成断路、短路而直接影响成品率。

权衡芯片集成度的目标之一是“线宽”，即集成电路上导线的宽度。在线宽以微米计算的年代，制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不时变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处置器的线宽减少到了0.13μm，此时任何粉尘都能够损害电路，粒径与线宽的传统比拟过时了。

芯片厂传统的通风方式是“大循环”，车间的整个天花板上布满无隔板高效过滤器，整个空中为回风栅板。如今芯片厂有些车间运用自带风机的高效过滤安装（FFU，FanFilter Units、。大循环和FFU两种方式都能到达足够的无尘度，只是在运转管理和能耗上有所差别。

空气中的海盐离子是一切电子工业的大敌，但海盐粉尘的颗粒比拟大，普通空气过滤器就能将其肃清。有人说电子工业的理想地点应该远离海岸，可国际芯片厂就建在了经济兴旺的沿海地域，在过滤器上多花点钱就是了。

芯片厂特别在意过滤器上能够的微量挥发元素。近几年呈现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤资料，这种资料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要停止电中和以消弭空气中的离子，少了个隐患，多了个费事。目前PTEE高效滤材的价钱偏高，绝大局部高效过滤器仍运用传统的玻纤滤纸。高效过滤器上能够的挥发物次要来源于制造进程中运用的粘结剂、清洗剂、实验粉尘、辅佐资料、为芯片厂供货的过滤器厂商要在防止微量挥发物上下些功夫。

但当芯片的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学净化物成了影响成品率的次要危害，于是，后建的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。

芯片厂特别在意过滤器上能够的微量挥发元素近几年呈现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤资料，这种资料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要停止电中和以消弭离子，少了个隐患，多了个费事。

但当芯片的线宽小到0.5um时，人们发现空气中的化学净化物成了影响成品率的次要危害，于是，后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。

芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。

许多状况下，设计师和现场人员也说不清净化物的品种和浓度，因而，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点：广谱吸附功能、足够多的吸附资料。