由于目前的国际环境,国际鼎力倡议芯片的自主化,估计在将来几年,将需求数亿元的高效过滤器和精细过滤器。而半导体厂关于消费环境空气的无尘度是非常挑剔的,因而关于空气过滤器的要求也是非常苛刻。
1、芯片厂10级、1级无尘车间主过滤器效率:ULPA超高效过滤器
罕见过滤元件:无隔板ULPA超高效过滤器特殊要求:扫描检验,流速平均,无挥发物
作用:当今对功能要求最高的空气过滤器2、芯片厂10级、1级无尘厂房预过滤器
主过滤器效率:HEPA高效过滤器罕见过滤元件:无隔板高效过滤器、有隔板高效过滤器
特殊要求:迎面风速高作用:保证末端过滤工器的运用寿命
从以上可以看出,芯片厂空气过滤要求非常的严厉,无尘度要求十分高,因而必需搭配初效、中效和高效空气过滤器运用,并且在一些要求特别的环境中还需求搭配超高效过滤器。因而我们芯片厂在选择空气过滤器的时分,次要是依据本人的需求停止设计通风,再选择不同过滤级别的空气过滤器停止搭配运用,到达消费芯片的环境要求。